在紊流潔凈室中，風(fēng)的輸送和混合都是紊流方式進(jìn)行的。為確保污染物被清楚，無塵車間的各個(gè)部分必須均實(shí)現(xiàn)良好的空氣混合。在單向流凈化車間中，為保證關(guān)鍵區(qū)域達(dá)到潔凈的水平，其送風(fēng)直接來自過濾器。

　　凈化車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，首先應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢Ξa(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對濕度在50%時(shí)易生銹。